セミナー2/2 密着性・剥離のメカニズムと対策および評価・解析方法
密着性・剥離のﾒｶﾆｽﾞﾑと対策および評価・解析方法
PDFパンフレット(セミナー「密着性・剥離のメカニズムと対策および評価・解析方法」)
主 催
S&T出版株式会社
日 時 ・ 場 所
日時：2016年2月2日(火) 10:30～16:30
会場：高橋ビルヂング（東宝土地(株)） 会議室 （東京都千代田区神田神保町3-2）
→会場へのアクセス
受 講 料 （税込）
49,800円 Ｅメール案内会員価格 47,300円 ※昼食・資料代を含む
＜1名様分の受講料で2名様まで受講できます＞
※2名様ご参加は同一会社・法人からの同時申込に限ります。
※2名様ご参加は2名様分の参加申込が必要です。ご連絡なく2名様のご参加はできません。
※3名様以上のご参加は、追加1名様あたり10,800円OFFになります。
Ｅメール案内登録をしていただいた方には、Ｅメール案内会員価格を適用いたします。
→複数名同時申込はこちらの用紙（PDF）をご利用ください。
講 師
岩村 栄治 氏 ／ ペルノックス(株) 導電材料事業部 開発グループ グループリーダー
【研究分野】
機能性材料設計、ナノ複合構造制御、薄膜形成プロセス、微細構造評価
【略歴】
1990年 東京大学工学研究科修士課程修了（金属工学専攻）
2000年 工学博士 （東京大学）
1990年～2001年 (株)神戸製鋼所 技術開発本部 研究員
1994年～1996年 スタンフォード大学材料科学工学科 客員研究員
2002年～2005年 科学技術振興機構 さきがけ研究21 個人研究者
2005年～ 荒川化学工業(株)
2013年～ ペルノックス(株)（荒川化学より出向）
【受賞】
日本金属学会論文賞、地方発明表彰支部長賞、全国発明表彰発明賞
【著書】
「薄膜の応力・密着力・剥離トラブルハンドブック＜Q&A集付＞」 （情報機構）
趣 旨
本セミナーでは、薄膜材料全般に共通した密着性の問題に対して、実践的に対処する際に知っておくべき基本的な内容をできるだけ平易に解説します。特に、界面や表面、膜応力や剥離・破壊の基本知識と、密着性改善の考え方、密着力の評価方法について詳しく解説します。具体例として、主に金属や無機のスパッタリング薄膜を取り上げますが、さらに樹脂コーティング膜等についても実例を挙げながら解説します。さらに、様々な剥離形態をどのように観察して剥離発生の要因を考えるか、実際に剥離が発生した場合に具体的にどのように対処するかについてクローズアップします。
初学者、中堅技術者で薄膜の密着性に関して基本知識から習得したい方、新製品開発やトラブルシューティングで密着性に関する技術課題を解決したい方に適した内容です。
本講座を通じて、密着性の概略を把握していただき、現象の本質を理解して、個々の技術課題に対応される第一歩となれば幸いです。
プログラム詳細
1. なぜ剥離が発生するのか
1.1 とにかく剥離したところをよく観察しよう
1.2 剥離に影響を与える材料的要因と剥離発生要因の簡単な見分け方
1.3 異種材料間の界面構造はどうなっているのか？
1.4 表面／界面エネルギーと密着性の関係と密着力の実体
1.5 密着と粘着・接着との違い
1.6 膜応力とは何か？
1.7 薄膜の剥離・破壊を理解する考え方の基本
1.8 密着するための条件と剥離を起こさないための条件の考え方の違い
2. 密着性をどのように評価するか
2.1 様々な密着力評価方法の特長と注意点：テープテスト・３点曲げテスト・スクラッチテストの詳しい解説
2.2 密着強度はどこまで当てになるのか？
3. 密着性を改善するには
3.1 密着性向上の方法
3.2 異種材料界面と表面／界面の改質手法
3.3 薄膜に生じる欠陥・不良防止対策
3.4 膜応力を低減するとなぜ密着力は改善するのか
3.5 膜応力低減化の手法：多層膜化や低応力成膜の本質
4. 剥離／密着不良が起こった場合にどのように対処するのか
4.1 対処手順と解析の方法
4.2 ケーススタディ１：様々な剥離形態とそこから考察される発生要因
4.3 ケーススタディ２：剥離要因の絞込みと対策をおこなう具体例
5. まとめ
